氧化亚硅制备设备 | 氧化亚硅专用设备 | 产品中心

产品详情

一、产品介绍

本设备为卧式双开门高温真空炉，主要用于一氧化硅的高温反应及收集，兼有一般高温气氛炉使用功能。设备由炉体、炉门锁紧装置、加热系统、充放气系统、真空系统、电气控制系统、水冷却系统、变压器及联接电缆等组成。

二、产品特点

1、采用卧式双开门结构，取放料更加方便；

2、采用高纯石墨发热体及石墨毡保温层，结构稳定，发热效率高；

3、有单室和双室加热两种结构，双室加热设计结构中双室之间设有过渡室，便于更加调节双室温度梯度，便于工艺探索及氧化亚硅的沉积；

4、高真空扩散机组、罗茨泵机组、滑阀泵机组等多种真空系统可选，真空度高；

5、设有充放气系统，结合真空系统可快速完成腔体内部环境的置换，量身定做的真空/气氛环境，保障发热体在更佳的环境下工作，更好的完成样品烧结；

6、人性化配置，可实现手动操作与智能操作的多元选择；

7、一炉多用，可作为单纯的真空烧结炉或气氛烧结炉使用；

8、多重可视系统及安全互锁系统，实时为设备的正常运转保驾护航；

9、本产品接受非标定制。

三、设备参数

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