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一、产品介绍
主要适用于碱金属盐、氟化物、氧化物、卤化物等固体单晶材料的坩埚下降（旋转）法工艺生长，可在真空、大气或惰性气体等可控的局部压力状态下运行。
二、产品特点
1、双层炉体结构，有效降低炉体表面温度，减少高温伤害，降低对环境的影响；
2、采用先进的保温材料及隔热结构，导热系数低，保温效果好，节约能耗，温场稳定；
3、加热元件多种可选，例如铁铬铝电阻丝、石墨、感应线圈等等，具体根据工艺温度选择；
4、可根据不同的生长工艺选择合适的晶体生长气氛；
5、多样化真空系统配置，根据工艺选择不同等级的真空度；
6、采用可靠性高的焊接波纹管和磁流体进行动密封；
7、采用光栅标尺记录位移，热电偶或红外仪进行温度监控；
8、可触摸人机界面，可对位移、温度、真空度等进行设置与记录；
9、型式多样化，可选立式上出料、立式侧开门或钟罩式等结构；
10、本产品接受非标定制。
三、设备参数
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十工位坩埚下降炉 |
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设备型号 |
JYDB1-1CDM |
JYDB1-6CDM |
JYDB1-10CDM |
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设备规格 |
1600℃-2000×120×670-10 |
1600℃-2000×120×670-10 |
1600℃-2000×120×670-10 |
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加热元件 |
电阻丝 |
石墨加热 |
感应加热 |
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坩埚下降速度 |
0.1~20mm/h |
0.1~20mm/h |
0.1~20mm/h |
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加热区 |
三区 |
三区 |
三区 |
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快速升降速度 |
50~200mm/min |
50~200mm/min |
50~200mm/min |
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压升率 |
3Pa/h |
3Pa/h |
3Pa/h |
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工作气氛 |
空气 |
真空/惰性气体 |
真空/惰性气体 |
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测温方式 |
热电偶/红外仪 |
热电偶/红外仪 |
热电偶/红外仪 |
微信公众号
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