一、设备介绍

本设备为卧式高温石墨化炉，为石墨烯散热膜、PI膜等石墨化工艺专用设备，兼有一般高温气 氛炉使用功能。设备由炉体、中频加热系统、充放气系统、真空系统、 电气控制系统、水冷却系统等组成。

二、设备优点

1.中频加热系统设计：热场采用 IGBT 中频电源通过感应器感应内部高纯石墨坩埚作发热体。感应器为方型圆周 螺旋式排布，三段线圈分布，通过支撑座固定在炉体内部。感应器内选用刚玉砖作为绝缘体，石墨坩埚采用高纯石墨加工，拼接组成，具有纯度高，无挥发，有效保证炉腔内的清洁度等优点。采用石墨软毡耐温效果好，耐冲击性好，可实现耐受 3000 度的高温。中频电源采用 IGBT 中频电源系统，相较传统的 KGPS 电源节能 15-20%左右， 电效率高, 可达95%以上，高次谐波少，对电网污染少，不会干扰电网内其它设备运行。

2.充放气系统设计：本设备配置一路自动充放气系统，由流量计、电磁阀、手阀、压力传感器、接头等组成。 由压力传感器及电磁阀形成闭环控制系统，可对炉内气氛压力进行控制。 当炉压超过设定值 时，排气阀自动打开，进行泄压。手阀可以根据实际情况，适当调整气体流量。 同时，充入 适量的惰性气体可以调节炉内真空氛围。

3.电气控制系统设计：电气控制系统有触摸屏、电气柜、接触器、互感器、温控表、指示灯、PLC 等元件组成。主要品牌为施耐德等级品牌，温控表采用欧陆品牌可编程智能温度调节仪表， 控温精度±1℃ ，具有PID 调节、超温报警、断偶指示、温度补偿等功能。

三、设备主要参数